特許
J-GLOBAL ID:200903054012169874

面発光レーザ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 三好 秀和 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-264824
公開番号(公開出願番号):特開2001-094208
出願日: 1999年09月20日
公開日(公表日): 2001年04月06日
要約:
【要約】【課題】 本発明は、低閾値化、高効率化、高信頼性及び低コスト化を達成することを目的とする。【解決手段】 第1導電型の第1のDBR、第1導電型の第2のDBR、活性層6、第2導電型の第3のDBR、第2導電型の第4のDBRを順次積層した構造を有し、同じ導電型のDBRでは活性層6に近い側のDBRの不純物ドープ濃度が遠い側のDBRの不純物ドープ濃度よりも低く、同じ導電型のDBRでは活性層に近い側のDBRの高屈折率層15,20のバンドギャップが遠い側のDBRの高屈折率層2,10のバンドギャップよりも大きく、第4のDBRを貫き第3のDBRまで達するエッチングによるローメサ構造を有することを特徴とする。
請求項(抜粋):
第1の導電型であり高屈折率層と低屈折率層のペアを複数層有する第1のDBR、第1の導電型であり高屈折率層と低屈折率層のペアを所定層有する第2のDBR、活性層、第2の導電型であり高屈折率層と低屈折率層のペアを複数層有する第3のDBR、第2の導電型であり高屈折率層と低屈折率層のペアを所定層有する第4のDBRを順次積層した構造を有し、同じ導電型の前記DBRでは前記活性層に近い側のDBRの不純物ドープ濃度が前記活性層から遠い側のDBRの不純物ドープ濃度よりも低く、同じ導電型の前記DBRでは前記活性層に近い側のDBRの高屈折率層のバンドギャップが前記活性層から遠い側のDBRの高屈折率層のバンドギャップよりも大きく、前記第4のDBRを貫き前記第3のDBRまで達するエッチングによるローメサ構造を有することを特徴とする面発光レーザ。
Fターム (5件):
5F073AA65 ,  5F073AB17 ,  5F073CA05 ,  5F073CA07 ,  5F073EA23

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