特許

J-GLOBAL ID：200903054015193920

石英ルツボの製造方法

発明者： 大塚 久利 ,  青山 武
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： ▲高▼野 俊彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-068575
公開番号（公開出願番号）：特開平8-239231
出願日： 1995年03月02日
公開日（公表日）： 1996年09月17日
要約：

【要約】【目的】 シリコン結晶の引き上げの際に用いて、シリコンウェーハにした時のライフタイムが高く、更にOSF等の積層欠陥の発生の少ないシリコン単結晶を得ることができる石英ルツボの製造方法を提供する。【構成】 天然石英ガラス粉又は合成石英ガラス粉を原料として石英ルツボを形成した後、常圧又は加圧下で、水素ガス又は水素ガスと不活性ガスとの混合ガス雰囲気中で加熱処理し、前記石英ルツボ中に水素分子を1×1016個/cm3以上含有させる。

請求項（抜粋）：

天然石英ガラス粉又は合成石英ガラス粉を原料として石英ルツボを形成した後、常圧又は加圧下で、水素ガス又は水素ガスと不活性ガスとの混合ガス雰囲気中で加熱処理し、前記石英ルツボ中に水素分子を1×1016個/cm3以上含有させることを特徴とする石英ルツボの製造方法。

IPC (4件)：

C03B 20/00 ,  C01B 33/152 ,  C03C 3/06 ,  C30B 15/10

FI (4件)：

C03B 20/00 ,  C01B 33/152 B ,  C03C 3/06 ,  C30B 15/10