特許
J-GLOBAL ID：200903054028280635
欠陥判別方法、欠陥判別装置及び欠陥判別プログラムを格納したコンピュータ読み取り可能な記録媒体
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 秀和 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-236312
公開番号（公開出願番号）：特開平11-087443
出願日： 1997年09月01日
公開日（公表日）： 1999年03月30日
要約：
【要約】【課題】 半導体装置のウェハ欠陥検査において、共通欠陥の判別精度を向上させる。【解決手段】 欠陥分類処理部13は、検出された欠陥に対しその種類に応じた欠陥分類を付加する。グループ化手段142は、座標比較手段141で同一位置に存在する欠陥として検索された欠陥に同一のグループ番号を付加する。欠陥数集計手段143は、各グループに属する欠陥を欠陥分類ごとに集計し、全検査ショット数に対しその欠陥分類に属する欠陥が存在するショット数の割合を求め、最も大きな値をそのグループの欠陥有りショット数の割合とする。共通欠陥判別手段144は、前記求められた欠陥有りショット数の割合がしきい値を越える場合には、そのグループに属する欠陥を共通欠陥と判別する。
請求項（抜粋）：
対象物の分割された各領域で欠陥を検出し、各領域の同一位置に存在する欠陥を共通欠陥と判別する欠陥判別方法において、検出された欠陥を、欠陥の種類に応じて分類し、該分類に基づいて共通欠陥の判別を行うことを特徴とする欠陥判別方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L 21/66 J
, H01L 21/66 Z
, G06M 11/00 A
