特許

J-GLOBAL ID：200903054042829100

角速度センサ振動子の製造方法

発明者： 浅野 勝吾 ,  中野 泰之 ,  福田 徹
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 蔵合 正博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-051912
公開番号（公開出願番号）：特開2000-249560
出願日： 1999年02月26日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
要約：

【要約】【課題】 高精度で小型、安価な角速度センサ振動子を製造する。【解決手段】 表裏面に電極を形成した2枚の圧電グリーンシートを積層し、この積層シートの表裏面の電極を接続するスルーホールと、中間のサンドイッチ電極と表裏面の電極とを接続するスルーホールとを形成した後、焼成分極してなるバイモルフ型圧電シートを作成し、その後、複数の振動子全体を互いにブリッジで接続した状態で丸ごと上記圧電シートから切り出して、圧電一体型の三角柱三脚音叉振動子を多数個まとめて一括作成し、次いで各電極をメッキにて一括形成した後、各三角柱の各面の電極が独立するようにブリッジをスリッタやレーザ等により分割する。

請求項（抜粋）：

表裏面に電極を形成した2枚の圧電グリーンシートを積層し、この積層シートの表裏面の電極を接続するスルーホールと、中間のサンドイッチ電極と表裏面の電極とを接続するスルーホールとを形成した後、焼成分極してなるバイモルフ型圧電シートから複数の三角柱音叉構造の振動子を互いにブリッジで接続した状態で一括して切り出し加工する角速度センサ振動子の製造方法。

IPC (4件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/22

FI (4件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 41/08 Z ,  H01L 41/22 Z

Fターム (7件)：

2F105AA02 ,  2F105BB02 ,  2F105BB15 ,  2F105CC01 ,  2F105CC05 ,  2F105CD02 ,  2F105CD06