化学励起沃素レーザ装置

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：役昌明 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-148658
公開番号（公開出願番号）：特開2001-332790
出願日： 2000年05月19日
公開日（公表日）： 2001年11月30日
要約：

【要約】【課題】従来の化学励起沃素レーザ装置における励起酸素の発生効率を改善すること。【解決手段】励起酸素発生器3と、この励起酸素発生器3で発生した励起酸素に沃素ガスを混合する沃素ガス混合器24と、沃素ガスを混合した励起酸素を導入する活性領域に配置されたレーザ発振部20とを具備する化学励起沃素レーザ装置において、励起酸素発生器3は、塩素ガスを供給される反応室33と、この反応室33内へ過酸化水素水とアルカリとの混合液を微細化して供給する噴霧ノズル4とを備え、この反応室33において過酸化水素水とアルカリとの混合液を塩素ガスと反応させて励起酸素を発生させる。また、噴霧ノズル4と反応室33の壁面との間に直流電源2より電圧を印加して、微細化された混合液を荷電して、反応が終わった液滴を反応室33の壁面に付着させてレーザ発振部20への流入を防止するように構成する。

請求項（抜粋）：

励起酸素発生器と、該励起酸素発生器で発生した励起酸素に沃素ガスを混合する沃素ガス混合器と、沃素ガスを混合した励起酸素を導入する活性領域に配置されたレーザ発振部とを具備する化学励起沃素レーザ装置において、上記励起酸素発生器は、塩素ガスを供給される反応室と、該反応室内へ過酸化水素水とアルカリとの混合液を微細化して供給する噴霧ノズルとを備え、上記反応室において過酸化水素水とアルカリとの混合液を塩素ガスと反応させて励起酸素を発生することを特徴とする化学励起沃素レーザ装置。

Fターム (5件)：

5F072AC02 , 5F072JJ02 , 5F072KK06 , 5F072RR01 , 5F072YY06

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭63-011532
特開昭62-125685
特開昭53-141167

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