特許

J-GLOBAL ID：200903054057086813

基板取扱い装置

発明者： 中島 満徳
出願人/特許権者： 三機産業設備株式会社
代理人 (1件)： 山田 恒光 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-387375
公開番号（公開出願番号）：特開2002-187617
出願日： 2000年12月20日
公開日（公表日）： 2002年07月02日
要約：

【要約】【課題】 基板を基板加工ラインに供給し或は基板加工ラインから取り出す際に、多くの人手を必要とすることがないようにする。【解決手段】 入側にセットされた台車2に搭載されている基板3を取り込み基板加工ラインに供給するためのローダ1と、基板加工ラインから取り出された基板3を出側にセットされた台車2に送り出すためのアンローダ5とを備える。

請求項（抜粋）：

入側にセットされた台車(2)に板幅方向が基板取り込み方向(D1)に対し直交するよう並列配置されている基板(3)を取り込んで搬送装置(62)を介し基板加工ライン(4)に水平状態で供給するためのローダ(1)と、基板加工ライン(4)から搬送装置(130)を介し水平状態で取り出された基板(3)を出側にセットされた台車(2)に板幅方向が基板送出し方向(D4)と直交する方向へ向けて並列状態となるよう送り出すためのアンローダ(5)とを備えたことを特徴とする基板取扱い装置。

IPC (2件)：

B65G 49/06 ,  H01L 21/68

FI (2件)：

B65G 49/06 Z ,  H01L 21/68 A

Fターム (5件)：

5F031CA05 ,  5F031FA02 ,  5F031GA24 ,  5F031GA53 ,  5F031GA58

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 基板処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-003427   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
• パネルの整列機構
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-239205   出願人：日本電気エンジニアリング株式会社