特許
J-GLOBAL ID：200903054063659957
金属、金属酸化物及びそれらの混合物のプラズマ補助異方性エッチング方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
富村 潔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-219251
公開番号（公開出願番号）：特開平10-088373
出願日： 1997年07月30日
公開日（公表日）： 1998年04月07日
要約：
【要約】【課題】 金属、金属酸化物及びそれらの混合物を難揮発性エッチング生成物の形成を回避するようにしてプラズマ補助下に異方性エッチングを行う方法を提供する。【解決手段】 エッチングガス又はエッチングガス混合物に一酸化炭素又はホスフィン又はホスフィン誘導体のような錯形成体を混和することにより難揮発性金属塩の代わりに易揮発性金属錯体を形成してエッチングの異方性を著しく高める。
請求項（抜粋）：
エッチングプロセス時に少なくとも1つの錯形成体が用いられることを特徴とする金属、金属酸化物及びそれらの混合物のエッチングガス又はエッチングガス混合物によるプラズマ補助異方性エッチング方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23F 4/00 E
, H01L 21/302 J
