特許
J-GLOBAL ID：200903054067113207
塗布装置および塗布方法並びにカラーフィルタの製造方法および製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長門 侃二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-006744
公開番号（公開出願番号）：特開平9-192566
出願日： 1996年01月18日
公開日（公表日）： 1997年07月29日
要約：
【要約】【課題】 スリットダイのノズル部40aに付着している塗布液を確実に除去し、塗膜の形成を良好に行うことができる塗布装置および塗布方法、並びに、これら塗布装置および塗布方法を用いたカラーフィルタの製造装置および製造方法を提供することにある。【解決手段】 カラーフィルタの製造に用いられる塗布方法を実施する塗布装置は、スリットダイ40の下方に配置可能なガター92と、このガター92内に支持ユニット96を介して取り付けられた一対の清掃部材94とを備えており、支持ユニット96は一対の清掃部材94を上方に向けて押圧付勢する圧縮コイルばね118と、清掃部材94の取り付け位置を取り付けプレート120を介して上下左右に調整するための調整ねじ130を備えている。
請求項（抜粋）：
塗布液を供給する供給手段と、前記供給手段から供給された塗布液を吐出するために一方向に延びる吐出口を有する塗布器と、前記塗布器の前記吐出口から塗布液を吐出して被塗布部材に塗膜を形成するとき、前記塗布器および前記被塗布部材の少なくとも一方を相対的に移動させる移動手段とを備えた塗布装置において、前記吐出口の長手方向に沿って移動し、前記塗布器の吐出口周辺部に摺接しながら、この吐出口周辺部に付着している塗布液を除去する清掃部材と、前記吐出口周辺部に対する前記清掃部材の摺接動作を安定させる安定化手段とを備えたことを特徴とする塗布装置。
IPC (4件)：
B05C 5/02
, B05D 1/26
, G02B 5/20 101
, G02F 1/1335 505
B05C 5/02
, B05D 1/26 Z
, G02B 5/20 101
, G02F 1/1335 505
