特許

J-GLOBAL ID：200903054073314320

レーザ出力測定器

発明者： 井 関 朋 子 ,  野 田 悦 夫
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-164445
公開番号（公開出願番号）：特開平11-014450
出願日： 1997年06月20日
公開日（公表日）： 1999年01月22日
要約：

【要約】【課題】 大出力レーザの出力測定を高精度で行うことができるレーザ出力測定器を提供する。【解決手段】 レーザ出力測定器1は、中空状の球体である内殻2および外殻3を備えている。内殻2および外殻3は中心が略一致するように配置され、内殻2の外面と外殻3の内面との間には水等の流体を循環させるための空間4が形成されている。外殻3には空間4に対して水を供給および排出するための水冷管14,15が連結されている。ここで、水冷管14の所定箇所には流量計18が接続され、水冷管14から空間4内へ供給される水の流量が測定できるようになっている。また、水冷管14,15内には温度センサ16,17が挿入され、供給側および排出側での水の温度Ti ,To が測定できるようになっている。さらに、内殻2および外殻3にはレーザ光を内部に引き込むための開口部7が設けられている。

請求項（抜粋）：

内部に空間を有するとともにこの内部の空間にレーザ光を引き込むための引込部を有する受光体と、前記受光体の外側に配置され前記受光体との間で熱の授受を行う流体を循環させる流路と、前記流路の供給側および排出側での前記流体の温度を測定する温度測定手段とを備えたことを特徴とするレーザ出力測定器。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭57-084321
  
• 特開平4-025724
  
• 特開平3-013869