特許

J-GLOBAL ID：200903054078650808

電気物品の洗浄方法

発明者： 鈴木 剛
出願人/特許権者： カシオ計算機株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-212967
公開番号（公開出願番号）：特開2002-028597
出願日： 2000年07月13日
公開日（公表日）： 2002年01月29日
要約：

【要約】【課題】簡易な設備で、容易に能率よく、またプラズマによるダメージをほとんど与えることなく液晶表示素子の所要部分を洗浄することができる洗浄方法を提供する。【解決手段】液晶表示素子1の端子部3に回路基板を接合する工程に先立って前記端子部3にプラズマ照射器10を用いてプラズマジェットJを照射して洗浄する。

請求項（抜粋）：

電気物品の所要の領域部分にプラズマ化したガス気流の照射が可能なノズルを有するプラズマ照射器を用いてその領域部分を洗浄することを特徴とする電気物品の洗浄方法。

IPC (6件)：

B08B 7/00 ,  B08B 5/00 ,  G02F 1/13 101 ,  G09F 9/00 338 ,  H01L 21/304 645 ,  H01L 21/304

FI (6件)：

B08B 7/00 ,  B08B 5/00 Z ,  G02F 1/13 101 ,  G09F 9/00 338 ,  H01L 21/304 645 C ,  H01L 21/304 645 A

Fターム (15件)：

2H088FA10 ,  2H088FA21 ,  2H088FA23 ,  2H088FA24 ,  2H088FA30 ,  2H088MA16 ,  3B116AA02 ,  3B116BB21 ,  3B116BB88 ,  3B116BB89 ,  3B116BC01 ,  5G435AA11 ,  5G435AA17 ,  5G435KK05 ,  5G435KK10