特許

J-GLOBAL ID：200903054084580900

高解像度顕微鏡システムの自動焦点探索装置とその方法

発明者： イサック・カッツ ,  マイケル・フェイルマン ,  イェフダ・エリシャ ,  シモン・コスティアノフスキー ,  ヨーラム・ウジエル ,  ジョエル・エル・セリグソン ,  ヨーラム・ハンフリング
出願人/特許権者： ケーエルエー・インストルメンツ・コーポレーション
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-274334
公開番号（公開出願番号）：特開平8-211297
出願日： 1995年10月23日
公開日（公表日）： 1996年08月20日
要約：

【要約】【課題】 従来では、処理速度が遅すぎて量産には不適切で、高解像度装置は極端に震動に弱く実用的で無い。この発明は一画面(コマ)内の検査領域内の対象物に顕微鏡の焦点を自動的に合わせることができる高倍率顕微鏡システムの焦点探索装置及び方法を提供することを目的とする。【解決手段】 準備段階として測定しようとする各コマ内の検査領域が決定され、この検査領域について領域内の小領域(サブエリア)におけるイメージ強度が測定される。又、光学軸に沿って顕微鏡軸長が予め調整され、測定済のイメージ強度が評価比較され、最大のS/N比を与える光学軸で共通の固有値が検出されそれに対応するサブエリアが登録される。実際に検査領域を検査する時には、登録されたサブエリアから反射される光のみを用いて焦点が合わせられる。

請求項（抜粋）：

検査測定するべき対象画像の範囲を検査領域と定める工程と、定められた検査領域内にて顕微鏡を光軸に沿って移動させつつ複数の小領域の画像強度を測定する工程と、この測定された画像強度を評価する工程と、前記小領域毎に最大の信号対雑音比が得られる光軸上の共通の最適位置と対応する小領域を選出する工程と、前記検査領域にて本来の検査測定を行なう時に必要な焦点合わせには、前記選出された小領域からの反射光のみを用いる工程とを具備することを特徴とする顕微鏡の自動焦点合わせ方法。

IPC (5件)：

G02B 21/00 ,  G02B 7/28 ,  G02B 21/18 ,  G02B 21/36 ,  G03B 13/36

FI (2件)：

G02B 7/11 J ,  G03B 3/00 A