特許

J-GLOBAL ID：200903054090146627

荷電粒子線露光装置

発明者： 清水 弘泰
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 細江 利昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-228892
公開番号（公開出願番号）：特開2000-067792
出願日： 1998年08月13日
公開日（公表日）： 2000年03月03日
要約：

【要約】【課題】 クーロン効果によるボケ、歪を低減させることにより、荷電粒子線の電流量を増やし、スループットを上げる。【解決手段】 電子源1を出た電子線2は、第1照射レンズ31によって成形開口4を照明する。成形開口4を出た電子線2は第2照射レンズ32、第3照射レンズ33によってレチクル5上に成形開口像を結像する。レチクル5を出た電子線2は第1投影レンズ61を通過した後、非点収差補正器61、62、63、64によって軌道を曲げられ、第2投影レンズ62によってウェハ7上にレチクル像を結像する。非点収差補正器によって、クロスオーバ点の近傍で非点収差を発生させ、電子線ビームの面積が小さくならないようにする。これにより、クーロン効果が小さくなり、電流量を増やすことができるのでスループットが向上する。

請求項（抜粋）：

被転写物体上に形成されたパターンを荷電粒子線で照射し、当該パターンの像を転写物体上に露光転写する荷電粒子露光装置であって、像面での非点収差ボケ、歪、入射角変化、偏向位置ずれ、偏向入射角変化の少なくともひとつを劣化させずに、荷電粒子線のクロスオーバ点近傍で非点収差を発生させる非点収差補正器を有することを特徴とする荷電粒子線露光装置。

IPC (3件)：

H01J 37/153 ,  G03F 7/20 504 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

H01J 37/153 A ,  G03F 7/20 504 ,  H01L 21/30 541 B

Fターム (19件)：

2H097BA01 ,  2H097BB01 ,  2H097CA16 ,  2H097KA38 ,  2H097LA10 ,  5C033HH01 ,  5C033JJ01 ,  5F056AA22 ,  5F056AA27 ,  5F056AA30 ,  5F056CB03 ,  5F056CB07 ,  5F056CB34 ,  5F056CC02 ,  5F056EA02 ,  5F056EA04 ,  5F056EA05 ,  5F056EA06 ,  5F056FA07