特許
J-GLOBAL ID:200903054092559490

高調波レーザ装置およびレーザ波長変換方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-178289
公開番号(公開出願番号):特開2004-022946
出願日: 2002年06月19日
公開日(公表日): 2004年01月22日
要約:
【課題】寿命が長く、かつ小型の高調波レーザ装置を得る。【解決手段】本発明の高調波レーザ装置は、反射ミラー(13)と出力ミラー(16)で構成される共振器内に配置した固体レーザ媒質(14)と、共振器内または共振器外に配置した非線形光学結晶(15)と、非線形光学結晶(15)の位置をレーザ光の光軸と垂直方向に移動させる移動機構(21)とを備えたもので、移動機構(21)は、レーザ照射時に連動して移動させるもので、サーボモータ、リニアモータ又は圧電素子を用いたものである。また、非線形光学結晶(15)上のレーザ光の通過位置をレーザ照射に連動して変化させる移動機構付光学素子(22)を設けてもよい。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
反射ミラー(13)と出力ミラー(16)で構成される共振器内に配置した固体レーザ媒質(14)と、前記共振器内または共振器外に配置した非線形光学結晶(15)と、前記非線形光学結晶(15)の位置をレーザ光の光軸と垂直方向に移動させる移動機構(21)とを備えた高調波レーザ装置において、 前記移動機構(21)は、レーザ照射に連動して移動させる電気式の移動機構であることを特徴とする高調波レーザ装置。
IPC (2件):
H01S3/109 ,  G02F1/37
FI (2件):
H01S3/109 ,  G02F1/37
Fターム (14件):
2K002AB12 ,  2K002BA03 ,  2K002CA02 ,  2K002DA01 ,  2K002GA10 ,  2K002HA20 ,  5F072AB02 ,  5F072AK01 ,  5F072JJ03 ,  5F072KK06 ,  5F072KK12 ,  5F072MM12 ,  5F072PP07 ,  5F072QQ02

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