感光性樹脂組成物、感光性フィルム、絶縁膜およびその形成法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-359790
公開番号（公開出願番号）：特開2003-162055
出願日： 2001年11月26日
公開日（公表日）： 2003年06月06日
要約：

【要約】【課題】キュア温度が比較的低く、かつ、耐熱性、フレキシブル性等の被膜特性に優れ、アルカリ水溶液での現像が可能であり、しかも反りの小さい絶縁膜を与える感光性樹脂組成物、感光性フィルム、絶縁膜およびその形成法を提供する。【解決手段】(a)エポキシ(メタ)アクリレ-ト化合物とその少なくとも一部が末端に酸無水物基を有するイミド系オリゴマ-である酸無水物との反応物であるハ-フエステル化オリゴマ-、(b)光重合開始剤および(c)熱硬化性樹脂を含むアルカリ溶解性の感光性樹脂組成物。

請求項（抜粋）：

(a)下記式【化1】(式中、R1は直鎖状あるいは分岐状の脂肪族二官能性エポキシ残基で、R2は水素原子あるいはメチル基であり、nは0〜5の整数である。)で示されるエポキシ(メタ)アクリレ-ト化合物とその少なくとも一部が下記式【化2】(式中、R3は芳香族あるいは脂肪族テトラカルボン酸残基で、R4はジアミノシロキサン残基であり、mは0〜1の整数である。)で示される末端に酸無水物基を有するイミド系オリゴマ-である酸無水物との反応物であるハ-フエステル化オリゴマ-、(b)光重合開始剤および(c)熱硬化性樹脂を含むアルカリ溶解性の感光性樹脂組成物。

IPC (7件)：

G03F 7/027 514 , C08F299/02 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 512 , G03F 7/075 , G03F 7/40 501 , H05K 3/28

FI (7件)：

G03F 7/027 514 , C08F299/02 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 512 , G03F 7/075 , G03F 7/40 501 , H05K 3/28 D

Fターム (41件)：

2H025AA04 , 2H025AA06 , 2H025AA07 , 2H025AA08 , 2H025AA10 , 2H025AB11 , 2H025AB15 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC43 , 2H025BC69 , 2H025CA01 , 2H025CA27 , 2H025CA28 , 2H025CC01 , 2H025CC03 , 2H025CC08 , 2H025CC12 , 2H025FA03 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 2H096AA26 , 2H096BA05 , 2H096BA06 , 2H096BA20 , 2H096EA02 , 2H096GA08 , 2H096HA01 , 2H096JA04 , 4J027AE04 , 4J027CC05 , 4J027CD06 , 4J027CD10 , 5E314AA27 , 5E314AA32 , 5E314AA35 , 5E314CC15 , 5E314FF01 , 5E314GG08 , 5E314GG14 , 5E314GG21

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