特許

J-GLOBAL ID：200903054095313130

電界放出デバイスとその製造方法

発明者： サンゴー ジン ,  グレゴリー ピーター コチャンスキー ,  ウェイ ズー
出願人/特許権者： エイ・ティ・アンド・ティ・コーポレーション
代理人 (1件)： 三俣 弘文
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-243940
公開番号（公開出願番号）：特開平8-077917
出願日： 1995年08月30日
公開日（公表日）： 1996年03月22日
要約：

【要約】【課題】 電界放出デバイスとその製造方法を提供する。【解決手段】 電界放出デバイスは、エミッタ材料を絶縁基板に配置し、エミッタ材料にマスクパーティクルを加え、マスクパーティクル及びエミッタ材料の上に絶縁膜及びゲート導体膜を加え、さらにパーティクルを除去してランダムに分布した開口を通じてエミッタ材料を露出することによって製造される。このようにして優れた且つ経済的な多数のランダム分布の開口を有する電界放出デバイスが得られ、低コストのフラットパネル型ディスプレイに利用できる。

請求項（抜粋）：

(A)基板の上に電子エミッタ材料層を加えるステップと、(B)前記エミッタ材料にマスクパーティクルを加えるステップと、(C)前記マスクパーティクル及び前記エミッタ材料に絶縁材料及び導電性材料の連続的な層を加えるステップと、(D)前記マスクパーティクルを除去し、その下に形成された開口からエミッタ材料を露出するステップと、(E)電界放出デバイスを完成するステップとからなることを特徴とする電界放出デバイスの製造方法。

IPC (4件)：

H01J 9/02 ,  H01J 1/30 ,  H01J 31/12 ,  H01J 31/15