半導体製造における異常対策処理方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：船津暢宏 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-291129
公開番号（公開出願番号）：特開平9-134857
出願日： 1995年11月09日
公開日（公表日）： 1997年05月20日
要約：

【要約】【課題】処理途中で異常が発生した場合には、適切な対策処理が行われず、オペレータが異常に対処するため、オペレータの作業が繁雑であるという問題点があり、処理途中で異常が発生した場合に、適切な復旧処理や、安全対策処理を迅速に実行することができ、また、異常発生時のオペレータの作業を軽減することができる半導体製造における異常対策処理方法を提供する。【解決手段】半導体製造処理を規定する通常レシピのイベントに対応して、異常発生時に復旧対策又は安全対策を行うエラーレシピを設定しておき、イベント実行時に異常が発生した場合に、当該イベントに対応するエラーレシピに処理を移行する半導体製造における異常対策処理方法としている。

請求項（抜粋）：

半導体製造処理を構成するイベントの実行時に異常が発生した場合に、前記イベントに対応して予め設定されている異常を復旧する処理を実行することを特徴とする半導体製造における異常対策処理方法。

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