測定機の校正方法及びその装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-163345
公開番号（公開出願番号）：特開平10-332304
出願日： 1997年06月04日
公開日（公表日）： 1998年12月18日
要約：

【要約】【課題】ワークの表面粗さや輪郭形状を求める測定機において、アーム長さ、触針高さ及び触針先端の半径を、容易に短時間に校正できる方法及びその装置を提供する。【解決手段】形状寸法既知の球を有するボールゲージを触針でトレースすると、得られた測定データからボールゲージの球の計算形状値が算出され、計算形状値のX方向左右の差が小さくなるように触針高さが仮校正され、計算形状値のZ方向上下の差が小さくなるようにアーム長さが仮校正される。次に、平行な2面の段差寸法が既知の段差ゲージを触針でトレースすると、得られた測定データから計算段差寸法値が算出されて、その値によつてアーム長さが校正される。そして、再度、計算形状値のX方向左右の差が小さくなるように触針高さが校正される。また、その後にボールゲージの球の既知形状値と計算形状値との差から触針先端の半径が校正される。

請求項（抜粋）：

X方向移動自在に設けられた検出器と、その検出器に設けられた支点にXZ面内に揺動自在に支持された触針とが備えられ、前記触針でワークの表面をトレースしたときの前記検出器のX方向移動量及び前記触針のZ方向変化量から、ワークの表面粗さや輪郭形状を求める測定機において、前記支点からの前記触針先端のZ方向距離である触針高さの設計値、前記支点からの前記触針先端のX方向距離であるアーム長さの設計値及び前記触針の先端半径の設計値を入力し、形状寸法既知の球を有するボールゲージの、その球を前記触針でトレースして球測定データを求め、前記球測定データから前記ボールゲージの球の計算形状値を算出し、前記計算形状値の頂点を境とするX方向左右の差を算出するとともに、その差が小さくなるように前記触針高さを仮校正し、前記計算形状値のZ方向上下の差を算出するとともに、その差が小さくなるように前記アーム長さを仮校正し、互いに平行で段差寸法が既知の2面を有する段差ゲージの、その2面をX方向に平行に置き、前記触針でトレースして段差測定データを求め、前記段差ゲージの平行な2面の計算段差寸法を、前記段差測定データから算出し、前記計算段差寸法が既知段差寸法になるように前記アーム長さを校正し、前記計算形状値の頂点を境とするX方向左右の差を算出するとともに、その差が小さくなるように、前記触針高さを校正することを特徴とする測定機の校正方法。

IPC (3件)：

G01B 5/00 , G01B 5/20 , G01B 5/28 102

FI (3件)：

G01B 5/00 P , G01B 5/20 J , G01B 5/28 102 Z

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