特許
J-GLOBAL ID：200903054108137078
ウエーハ研磨装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
舘野 公一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-344327
公開番号（公開出願番号）：特開平7-171757
出願日： 1993年12月16日
公開日（公表日）： 1995年07月11日
要約：
【要約】【目的】 ウエーハの周辺ダレ等がなくプラナリゼーション研磨が出来、ウエーハの多層配線,高集積化が出来るウエーハ研磨装置を提供する。【構成】 ウエーハ保持部材2の下方開口部13に配設される可撓性の薄板のウエーハ吸着保持板3でウエーハWを吸着支持すると共に、ウエーハ保持部材2をハウジング4に伸縮性の筒状部材6と高可撓性の支持部材7で垂下支持し、密閉室12内にπ/4(d<SB>1 </SB><SP>2 </SP>-d<SB>2 </SB><SP>2 </SP>)・P=Mの式を満足する圧力Pの圧縮空気を導入しウエーハ保持部材2の自重の影響をなくし、均一な空気圧のみによりウエーハWの研磨を行う。ここで、d<SB>1 </SB>はウエーハの外径、d<SB>2 </SB>はd<SB>2 </SB><d<SB>1 </SB>のウエーハ保持部材2の上方開口部14の内径,Mはウエーハに保持部材2の自重である。
請求項（抜粋）：
下端側にウエーハの外径d<SB>1 </SB>よりもやや大径の下方開口部を有すると共に、上端側にd<SB>2 </SB><d<SB>1 </SB>の上方開口部を形成する重量Mのウエーハ保持部材と、前記下方開口部を閉止すると共にウエーハを吸着支持する可撓性の硬質薄板よりなるウエーハ吸着保持板と、装置の不動側に垂下支持され下端側を開口する円筒状の胴部と、その内部に形成される内径d<SB>2 </SB>のリング状突起部とを有するハウジングと、該ハウジングの前記リング状突起部と前記ウエーハ保持部材間に架設される伸縮性の筒状部材と、該筒状部材およびウエーハ吸着保持板により前記ハウジングのリング状突起部とウエーハ保持部材間に形成される密閉室と、前記ハウジングの胴部と前記ウエーハ保持部材間に架設される高撓性の支持部材と、前記ウエーハ吸着保持板と真空源を連結する真空通路と、前記密閉室と当該密閉室内に圧力Pの圧縮空気を供給する圧縮空気源とを連通させる圧縮空気供給路を設ける研磨装置であって、前記圧力Pが下式を満足することを特徴とするウエーハ研磨装置。π/4(d<SB>1 </SB><SP>2 </SP>-d<SB>2 </SB><SP>2 </SP>)・P=M
IPC (2件)：
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