特許

J-GLOBAL ID：200903054117961921

エッチングばらつき検査方法および検査装置

発明者： 吉川 嘉茂 ,  堀池 良雄
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-394328
公開番号（公開出願番号）：特開2002-198633
出願日： 2000年12月26日
公開日（公表日）： 2002年07月12日
要約：

【要約】【課題】 短時間で容易に高い精度でエッチングばらつきを検査する。【解決手段】 銅箔パターンマスク1に予め線幅の異なる複数の線パターン2を入力し、前記線幅の異なる複数の線パターン2の内前記銅箔パターンマスク1を用いてエッチングが完了したプリント基板3に残った線パターンの有無を確認することによりエッチング状態を検査する。

請求項（抜粋）：

銅箔パターンマスクに予め線幅の異なる複数のパターンを入力し、前記線幅の異なる複数のパターンのうち前記銅箔パターンマスクを用いてエッチングが完了したプリント基板に残ったパターンの状態を確認することによりエッチング状態を検査するエッチングばらつき検査方法。

IPC (7件)：

H05K 3/06 ,  C23F 1/00 ,  C23F 1/00 102 ,  G01N 21/956 ,  G01R 31/02 ,  H05K 1/02 ,  H05K 3/00

FI (7件)：

H05K 3/06 D ,  C23F 1/00 Z ,  C23F 1/00 102 ,  G01N 21/956 B ,  G01R 31/02 ,  H05K 1/02 R ,  H05K 3/00 T

Fターム (20件)：

2G014AA01 ,  2G014AA13 ,  2G014AB59 ,  2G014AC09 ,  2G051AA65 ,  2G051AB02 ,  4K057WA11 ,  4K057WA14 ,  4K057WA19 ,  4K057WB04 ,  4K057WB17 ,  4K057WJ10 ,  4K057WL10 ,  4K057WN01 ,  4K057WN03 ,  5E338CC09 ,  5E338DD13 ,  5E338EE44 ,  5E339EE03 ,  5E339FF01