特許
J-GLOBAL ID：200903054120793797
明暗照明による表面状態検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福岡 正明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-259824
公開番号（公開出願番号）：特開平5-072139
出願日： 1991年09月10日
公開日（公表日）： 1993年03月23日
要約：
【要約】【目的】 被検査面からの反射光を検出した明暗データと欠陥検出用判定値との比較によって表面状態を検査する表面状態検査方法において、表面状態を適切に検査し得るようにすることを目的とする。【構成】 所定方向に沿って明度が徐々に変化する明暗光を被検査面に照射し、その被検査面からの反射光を捕らえて受光画像を作成する。そして、明暗勾配と欠陥の大きさとに対応して欠陥検出用判定値の設定傾向が決められた決定規則を予め設定しておき、上記受光画像の走査によって得られた明暗データから算出した明暗勾配と該データから算出した欠陥の大きさと上記決定規則とに基づいて欠陥検出用判定値の適合度合を算出して、この適合度合に応じて上記欠陥検出用判定値を変化させるようにする。
請求項（抜粋）：
所定方向に沿って明度が徐々に変化する明暗光を被検査面に照射し、その被検査面からの反射光を捕らえて受光画像を作成すると共に、この受光画像を明暗変化の方向に走査し、検出された明暗データと所定の欠陥検出用判定値とを比較することにより被検査面における表面状態を検査する表面状態検査方法であって、上記受光画像の走査によって得られた明暗データに応じて上記欠陥検出用判定値を変化させることを特徴とする明暗照明による表面状態検査方法。
IPC (5件)：
G01N 21/84
, G01B 11/30
, G01N 21/88
, G06F 15/62 400
, H04N 7/18
