プリアライメント方法及び装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：飯塚雄二 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-321093
公開番号（公開出願番号）：特開平9-139342
出願日： 1995年11月15日
公開日（公表日）： 1997年05月27日
要約：

【要約】【課題】基板の位置合わせ作業のスループットを向上させること。【解決手段】基板(10)が露光装置(12)に搬入される前に、基板(10)の表裏両面(10a,10b)を撮像し、撮像された基板(10)の表裏両面(10a,10b)の像に基づいて、基板(10)の表面(10a)のショット配列と裏面(10b)のマーク(54a,54b)との相対的な位置ずれを検出する。そして、検出された情報に基づいて、基板(10)のプリアライメントを行う。

請求項（抜粋）：

基板の表面上の複数のショット領域の露光に先立ち、前記基板の裏面に設けられたマークに基づいて前記基板の位置決めを行うプリアライメント方法において、前記基板の表裏両面を撮像する撮像工程と;撮像された前記基板の表裏両面の像に基づいて、前記基板の表面のショット配列と前記裏面のマークとの相対的な位置ずれを検出する位置検出工程と;前記検出された情報に基づいて、前記基板の位置合わせを行う位置合わせ工程とを含むことを特徴とするプリアライメント方法。

IPC (4件)：

H01L 21/027 , G03F 9/00 , G06T 7/00 , H01L 21/68

FI (5件)：

H01L 21/30 520 A , G03F 9/00 H , H01L 21/68 F , G06F 15/62 405 C , H01L 21/30 507 T

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