特許
J-GLOBAL ID：200903054127128845
厚み系水晶振動子の電極形成方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-213290
公開番号（公開出願番号）：特開平6-037567
出願日： 1992年07月17日
公開日（公表日）： 1994年02月10日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 水晶板の中央部分に対して端部の厚みが小さく形成された水晶板に対して、所望の電極パターンを精度良く形成し、意図した電気的特性の得られる厚み系水晶振動子の電極形成方法を提供することを目的とする。【構成】 水晶板1はATカット水晶板で、バイコンベックス加工が施されている。このような水晶板への電極形成は、水晶板に形成する電極パターンと同形状の窓40,41,42,43を有する第1のマスク板4と、このマスク板4の下に励振電極パターン、引出電極パターン部分に、水晶板の幅寸法より大となる幅寸法を有する窓50,52,53を設け、それ以外の部分は第1のマスク板と同じパターンの窓51を有する第2のマスク板5を、それぞれ水晶板の両面に配置して、真空蒸着法を行うことにより形成される。
請求項（抜粋）：
水晶板の中央部分に対して端部の厚みが小さく形成された水晶板の表裏面に励振電極並びにこの励振電極から水晶板端部に延びる引出電極を形成する厚み系水晶振動子の電極形成方法であって、所定の励振電極パターン並びに引出電極パターンに対応する窓の設けられた第1のマスク板と、この第1のマスク板の下方に近接して、水晶板の端部近傍で前記引出電極形成のための窓以外の部分にできる間隙を埋める第2のマスク板とで水晶板を狭持し、薄膜形成手段により電極形成したことを特徴とする厚み系水晶振動子の電極形成方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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