特許
J-GLOBAL ID：200903054128749800
圧力センサ用感圧ダイアフラムの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-300467
公開番号（公開出願番号）：特開平8-159900
出願日： 1994年12月05日
公開日（公表日）： 1996年06月21日
要約：
【要約】【目的】圧力センサのケースへ組み込んだ状態での歪,残留応力の影響が少なく、かつ高い平坦度が確保でき、しかも組立時の取扱いも容易である信頼性の高い圧力センサ用感圧ダイアフラムの製造方法を提供する。【構成】厚肉の金属平板を母材8として、該母材の両面からダイアフラムの輪郭に対応するパターンでハーフエッチングによる溝加工を施し、圧力センサのケースに溶接接合する周縁接合部15を母材の板厚のまま残して、その内周面域に薄肉の中央平坦部13,および同心円状に凹凸面が並ぶ波形部14を形成して波形ダイアフラムを製作する。
請求項（抜粋）：
圧力センサに組み込んで用いる断面波形の感圧ダイアフラムの製造方法であって、厚肉の金属平板を母材として該母材の両面にダイアフラムの輪郭と対応するパターンのエッチング溝加工を施し、ダイアフラムの外周接合部を母材の板厚のまま残してその内周面域に薄肉の中央平坦部,および同心円状に凹凸面が並ぶ波形部を形成したことを特徴とする圧力センサ用感圧ダイアフラムの製造方法。
IPC (3件)：
G01L 9/12
, B21D 53/00
, G01L 7/00
