特許
J-GLOBAL ID：200903054132976617
欠陥検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山田 文雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-103543
公開番号（公開出願番号）：特開平5-280959
出願日： 1992年03月30日
公開日（公表日）： 1993年10月29日
要約：
【要約】【目的】 複数の欠陥を含む2値画像を1つの欠陥を含む複数の領域に分割し、各領域ごとにそこに含まれる欠陥の形状や種類等を高精度に判別できるようにする。【構成】 2値画像の周辺分布情報を用いて2値画像を1つの欠陥を含む複数の領域に分割する。ここに2値画像は、別手段により検出した欠陥のアドレスを含む領域を欠陥を示す値に塗り潰すことにより他の領域から分離した画像とするのが望ましい。周辺分布情報は、2値画像を副走査方向あるいは主走査方向に投影したものとし、この周辺分布のうち線状性を有する独立分布領域を線状の欠陥がある領域として分割することができる。この操作をさらに非線状性を有するとして残った領域に対しても行うことにより領域をさらに細かく分割することが可能である。
請求項（抜粋）：
検査対象を走査して得た画像信号を微分フィルタを含む空間フィルタリング処理した微分画像を用いて、検査対象の複数の欠陥を含む2値画像を抽出し、欠陥を検査する欠陥検査装置において、前記2値画像の周辺分布情報を用いて前記2値画像を1つの欠陥を含む複数の領域に分割する欠陥領域分割処理手段を備えることを特徴とする欠陥検査装置。
IPC (5件)：
G01B 11/30
, G01N 21/88
, G01N 21/89
, G06F 15/62 400
, G06F 15/70 330
