特許
J-GLOBAL ID:200903054134489640
低温クリーンブース
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
高橋 明夫 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-244234
公開番号(公開出願番号):特開平11-083104
出願日: 1997年09月09日
公開日(公表日): 1999年03月26日
要約:
【要約】【課題】安価に、必要な領域だけを簡単に低温とし、かつクリーン度を確保することができ、生産ラインの変更に際しても容易に対応して移設でき、さらに、低温条件でもブース域を仕切る仕切り部材の外表面に結露せず、内部の目視性を維持し、煩雑な結露水への対処を必要としない低温クリーンブースを提供する。【解決手段】ブース域を決めるフレーム1と、該ブースの内外を仕切る可動性のある二重カーテン4とを備え、天井材3上に、空調ユニット10とフィルターユニット8とを備え、二重カーテン4の外側ビニールカーテン4a、内側ビニールカーテン4bが互いに接触しないように、二重カーテン4の下部に可動性のある錘5を備えた。また、空調ユニット10に外気を取り入れる調節可能なダンパー13を設け、フレーム1の下部に車輪2を取り付けた。
請求項(抜粋):
ブース域を決めるフレームと、該ブースの内外を仕切る可動性のある仕切り部材とを備え、前記ブース域の天井部に、空調ユニットとフィルターユニットとを備えてなる低温クリーンブースにおいて、前記仕切り部材を二重以上の部材で構成し、その二重以上の仕切り部材が互いに接触しないように、当該仕切り部材下部に、仕切り部材が開閉できる程度に可動性のある錘手段を備えたことを特徴とする低温クリーンブース。
IPC (2件):
FI (2件):
F24F 7/06 C
, E04H 5/02 B
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