特許

J-GLOBAL ID：200903054142995415

ケーラー照明光学系

発明者： 古橋 英彦 ,  藤野 健
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-219651
公開番号（公開出願番号）：特開平5-060982
出願日： 1991年08月30日
公開日（公表日）： 1993年03月12日
要約：

【要約】【目的】 拡散板のように不要な方向に光束を拡散したり、複数の微小レンズからなる複合レンズのように境界線による照明ムラが生じたりすることなく、明るく、かつ均一に試料を照明するケーラー照明光学系を得ることを目的とする。【構成】 断面が凹円弧からなる凹曲面部と、断面が凸円弧からなる凸曲面部とを同心円状に配列し、かつ、前記凹円弧の基準円と凸円弧の基準円とが接する点で前記凹円弧と前記凸円弧とを接続するようにして形成した光束分散フィルタ8を光源1と視野絞り7との間の照明光路中に設けたケーラー照明照明光学系とした。

請求項（抜粋）：

光源と、視野絞りと、光源結像レンズと、開口絞りと、コンデンサレンズと、光源と視野絞りとの間の光路中に設けられる光束分散手段とを有し、前記コンデンサレンズの前側焦点面近傍に置かれた前記開口絞りの開口部に前記光束分散手段によって分散偏向された光源からの光束を結像させたのち、コンデンサレンズで平行光束にして試料を照明するケーラー照明光学系において、前記光束分散手段は、凹曲面部と凸曲面部とからなり、前記ケーラー照明光学系の光軸に垂直に配置される表面を有し、前記光軸を含んだ所定平面における前記表面の断面形状が、前記凹曲面部を示す凹円弧と前記凸曲面部を示す凸円弧とが交互に配列されてなり、前記交互に配列された凹円弧と凸円弧における隣接した凹円弧と凸円弧とは、前記凹円弧の基準円と前記凸円弧の基準円とが接する点で接続されてなることを特徴とするケーラー照明光学系。