特許
J-GLOBAL ID：200903054143212260
流体ベアリングと真空チャックおよびこれらの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-035868
公開番号（公開出願番号）：特開平11-315837
出願日： 1999年02月15日
公開日（公表日）： 1999年11月16日
要約：
【要約】【課題】 流体ベアリング、真空チャック、およびこれらの装置を簡単にかつ安価に製造するための方法を提供する。【解決手段】 本発明は、流体ベアリングのベアリング面を形成させるにあたって、ベアリング本体608に直接機械加工しないで、本体とは別に薄いプレート612の表面に半導体技術で使用されているエッチング技術で溝を形成させて、そのプレートを接着剤610で本体に取り付けるようにした。その際、接着剤が固まる前に、プレートのベアリング面をベアリングの相手側の面に押し付けて、双方の面の形状を一致させた。
請求項（抜粋）：
流体ベアリングを形成する方法であって、ベアリング面とその面の反対側に接着表面を有し、前記流体ベアリングの表面を形成するプレートを形成し、本体の第一側をプレートの接着表面に接合させ、プレートのベアリング面を所定の表面に置き、圧力差を発生させてベアリング面を所定の表面に整合させることを特徴とする方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
F16C 32/06 Z
, H01L 21/68 P
