特許

J-GLOBAL ID：200903054143511780

有機材料コーティング方法

発明者： 面川 真一 ,  加藤 勉
出願人/特許権者： 富士電機株式会社
代理人 (1件)： 山口 巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-226261
公開番号（公開出願番号）：特開平10-070114
出願日： 1996年08月28日
公開日（公表日）： 1998年03月10日
要約：

【要約】【課題】有機材料コーティング膜と無機材料表面の間に水分が存在しない有機材料コーティング方法を提供する。【解決手段】各種半導体素子等のような無機材料表面にシランカップリング剤処理を施してから有機材料膜を形成する有機材料コーティング方法において、前記シランカップリング剤処理をシランカップリング剤の蒸気に無機材料表面を晒すことによって施す。シランカップリング剤の気相法処理実験装置を用いて、デシケータ4の底に、シランカップリング剤2を所定量溜め、支持台7の上に無機材料1としてシリコンウエハを置き、排気後、ヒートプレート9によりシランカップリング剤を加熱蒸発させる。前記有機材料膜は、蒸着重合法により形成されたポリ-パラ-キシリレンおよびその誘導体である。

請求項（抜粋）：

各種半導体素子等のような無機材料表面にシランカップリング剤処理を施してから有機材料膜を形成する有機材料コーティング方法において、前記シランカップリング剤処理はシランカップリング剤の蒸気に無機材料表面を晒すことによって施されることを特徴とする有機材料コーティング方法。