特許

J-GLOBAL ID：200903054145005858

可動減圧チャンバー

発明者： 細江 秀
出願人/特許権者： 細江 秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-348326
公開番号（公開出願番号）：特開平7-167607
出願日： 1993年12月14日
公開日（公表日）： 1995年07月04日
要約：

【要約】【目的】レーザー干渉測長器において、測長環境もさほど良くない状況下で、1nm以下の高精度な測長を、簡単で安価にかつ容易に、精密な調整を必要とすることなく、高速に実現することを目的とするものである。【構成】両端壁をなす部材を一体化し、その両端壁の間に伸縮可能なベローズを接続し、外気と遮断するチャンバー壁をなすことを特徴とする、減圧チャンバーまたは、その両端壁の間に両端壁を構成する部材には固定されない部材を有し、その部材と両端壁の部材とを伸縮可能なベローズで接続して、外気と遮断するチャンバー壁をなすことを特徴とする、減圧チャンバー。

請求項（抜粋）：

減圧チャンバーの両端壁を構成し、かつ一体とした部材において、その両端壁の間に伸縮可能なベローズを接続し、外気と遮断するチャンバー壁をなすことを特徴とする、減圧チャンバー。