特許
J-GLOBAL ID:200903054145079940

位相差顕微鏡

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 杉村 暁秀 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-058227
公開番号(公開出願番号):特開平9-230247
出願日: 1996年02月22日
公開日(公表日): 1997年09月05日
要約:
【要約】【課題】 被観察物体に振幅分布および位相分布の両方が混在している場合でも、正確に位相分布を抽出できる位相差顕微鏡を提供する。【解決手段】 位相板4の位相差量を変化させて、少なくとも3つの異なる位相差量での位相差像を撮像素子6で順次撮像して記憶手段7に記憶し、その記憶された少なくとも3つの画像情報に基づいて、処理手段8により、位相板4の位相差量の変化による像面上の各点の強度変化を求め、その強度変化を縞走査手法により処理して被観察物体5の位相分布情報を抽出する。
請求項(抜粋):
光源と、この光源からの光を被観察物体に導く照明光学系と、この照明光学系のほぼ瞳位置に配置した輪帯状または円形の開口と、前記照明光学系により照明される前記被観察物体の像を拡大して結像する結像光学系と、前記被観察物体を介して前記照明光学系の瞳位置と共役な前記結像光学系の瞳位置またはその近傍に配置され、前記開口とほぼ共役な形状を有する位相差量が可変の位相板と、前記結像光学系の像面に配置した撮像素子と、この撮像素子により撮像された画像を記憶する記憶手段と、この記憶手段に記憶された画像を処理する処理手段とを有し、前記位相板の位相差量を変化させて、少なくとも3つの異なる位相差量での位相差像を前記撮像素子で順次撮像して、それぞれの画像情報を前記記憶手段に記憶し、その記憶された少なくとも3つの画像情報に基づいて、前記処理手段により、前記位相板の位相差量の変化による前記像面上の各点の強度変化を求め、その強度変化を縞走査手法により処理して前記被観察物体の位相分布情報を抽出するよう構成したことを特徴とする位相差顕微鏡。

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