有害成分の固体検知剤

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木戸一彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-008124
公開番号（公開出願番号）：特開平8-233800
出願日： 1993年11月15日
公開日（公表日）： 1996年09月13日
要約：

【要約】【課題】半導体製造工場等から排出される排ガス中に含まれる有害成分である揮発性無機水素化物,揮発性無機ハロゲン化物、有機金属化合物を、確実に乾式で検知できる固体検知剤を提供する。【解決手段】水酸化第二銅を反応主成分とする。特に、結晶性であることが望ましい。

請求項（抜粋）：

有害成分として排ガス中に含有している揮発性無機水素化物,揮発性無機ハロゲン化物,有機金属化合物を乾式検知する固体検知剤であって、水酸化第二銅を反応主成分とすることを特徴とする有害成分の固体検知剤。

IPC (2件)：

G01N 31/22 121 , G01N 33/00

FI (2件)：

G01N 31/22 121 A , G01N 33/00 C

引用特許：

審査官引用 (5件)

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