特許
J-GLOBAL ID：200903054161312949
改良された非接触超伝導臨界電流測定プローブ装置及び方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
竹内 澄夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-353596
公開番号（公開出願番号）：特開平7-198770
出願日： 1993年12月28日
公開日（公表日）： 1995年08月01日
要約：
【要約】【目的】 試料の局所的電流密度および超伝導体の臨界電流密度を、非接触で測定するための高感度プローブ装置および方法を提供する。【構成】 試料を挟んで上下に直列に連結された、誘導電流を生じさせるための磁場を形成する一対の励磁コイルと、励磁コイルの外側に配置され試料を挟んで上下に直列に連結された、誘導電流により形成される磁場を検知する検知コイルと、励磁コイルによる検知コイルでの誘導起電力を自動キャンセルするための、励磁コイルの外部に位置し、上下に直列に連結された打ち消しコイルとから成る改良型プローブ。それぞれのコイルはすべて同軸に配置されている。試料が存在するときと存在しないときとの起電力の差を純粋な試料出力とし、それから試料の磁化の振る舞いを求め、試料の性質を算出していく。上記改良型プローブにより、励磁磁場の強度が増加し、試料の感じる磁場の均一性も向上したことより、検出感度が飛躍的に向上した。
請求項（抜粋）：
非接触で試料の電流密度を測定するためのプローブであって、試料を挟んで上下に直列に連結された、該試料に誘導電流を生じさせるための磁場を形成する一対の励磁コイルと、該励磁コイルの外側に配置され試料を挟んで上下に直列に連結された、前記誘導電流により試料の形成する磁場を検知する検知コイルと、から成り、前記励磁コイルおよび前記検知コイルの軸線方向が共に前記試料の面に対して垂直である、ところのプローブ。
IPC (4件)：
G01R 31/00 ZAA
, G01R 19/00
, G01R 33/12 ZAA
, H01L 21/66
