特許
J-GLOBAL ID：200903054163386990

印刷方式を利用したパターン形成方法

発明者：
柳 弘 錫

柳 弘 錫 について


出願人/特許権者：
エルジー.フィリップス エルシーデー カンパニー,リミテッド

エルジー.フィリップス エルシーデー カンパニー,リミテッド について


代理人 (9件)： 岡部 正夫 ,  加藤 伸晃 ,  産形 和央 ,  岡部 讓 ,  臼井 伸一 ,  越智 隆夫 ,  本宮 照久 ,  朝日 伸光 ,  三山 勝巳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-131066
公開番号（公開出願番号）：特開2005-354042
出願日： 2005年04月28日
公開日（公表日）： 2005年12月22日
要約：
【課題】印刷方式により1回の工程でパターンを形成することにより生産性を向上させると共に、パターンの厚さの均一性を向上させることができるパターン形成方法を提供する。【解決手段】パターン形成方法は、複数の凸パターンが形成されたクリシェを用意する段階と、前記凸パターンの表面に接着力強化剤を塗布する段階と、基板上にエッチング対象層を形成した後、その上部にインクを塗布する段階と、前記接着力強化剤が塗布された凸パターンと前記エッチング対象層上に塗布されたインクとが接触するように、前記クリシェと前記基板とを貼り合わせる段階と、前記クリシェと前記基板とを分離させることにより、前記エッチング対象層上に残留するインクパターンを形成する段階とを含む。【選択図】図2b
請求項（抜粋）：
複数の凸パターンが形成されたクリシェを用意する段階と、 前記凸パターンの表面に接着力強化剤を塗布する段階と、 基板上にエッチング対象層を形成した後、その上部にインクを塗布する段階と、 前記接着力強化剤が塗布された凸パターンと前記エッチング対象層上に塗布されたインクとが接触するように、前記クリシェと前記基板とを貼り合わせる段階と、 前記クリシェと前記基板とを分離させることにより、前記エッチング対象層上に残留するインクパターンを形成する段階と、 を含むことを特徴とするパターン形成方法。
IPC (4件)：
H01L21/027 ,  G02F1/1368 ,  G03F7/20 ,  H05K3/06
FI (4件)：
H01L21/30 502D ,  G02F1/1368 ,  G03F7/20 501 ,  H05K3/06 G
Fターム (15件)：
2H092JA26 ,  2H092MA04 ,  2H092MA10 ,  2H092MA12 ,  2H092MA13 ,  2H092MA17 ,  2H092MA20 ,  2H092MA31 ,  2H092NA27 ,  2H097AA20 ,  2H097LA11 ,  5E339AA01 ,  5E339AB05 ,  5E339CD05 ,  5F046AA28
引用特許：
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM