表面に凹凸を有する石英ガラスおよびその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：服部平八
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-282757
公開番号（公開出願番号）：特開平11-106225
出願日： 1997年09月30日
公開日（公表日）： 1999年04月20日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】表面に球状または楕円球状を有し、マイクロクラックの発生がなく、該マイクロクラックに起因するパーティクルや不純物元素による汚染がなく、しかも二酸化珪素などの酸化膜との密着性に優れ、洗浄が容易な石英ガラスおよびその製造方法を提供する。【解決手段】表面に凹凸を有する石英ガラスであって、前記凹凸が直径10μm以下の球状または楕円球状であることを特徴とする表面に凹凸を有する石英ガラスおよび石英ガラス表面に100μm以下の薄膜を形成したのち、HF溶液またはフッ素を含有する雰囲気などで処理する前記石英ガラスの製造方法。

請求項（抜粋）：

表面に凹凸を有する石英ガラスであって、前記凹凸が直径10μm以下の球状または楕円球状であることを特徴とする表面に凹凸を有する石英ガラス。

IPC (2件)：

C03B 20/00 , C03C 15/00

FI (2件)：

C03B 20/00 , C03C 15/00 D

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平4-265513
特開平4-275950
特開昭63-307144

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