特許

J-GLOBAL ID：200903054166503998

位置検出装置及びそれを用いた露光装置

発明者： 三島 和彦
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-268990
公開番号（公開出願番号）：特開2000-091219
出願日： 1998年09月07日
公開日（公表日）： 2000年03月31日
要約：

【要約】【課題】 ウエハ上のアライメントマークを高精度に検出することができる位置検出装置及びそれを用いた露光装置を得ること。【解決手段】 第1物体上のパターンを投影光学系で第2物体上に投影露光する前に該第1物体と第2物体との相対的な位置合わせを行なう位置検出装置において、該位置検出装置は該第2物体面上のアライメントマークを照明する照明系と、該投影光学系を介さないで、第2物体面上のアライメントマークの位置情報を検出する位置検出系とを有し、該位置検出系は該第2物体側から順に正の屈折力の第1レンズ群と、該第1レンズ群からの光束を反射偏向するミラー、そして該ミラーからの光束を集光する第2レンズ群とを含む対物レンズ、該対物レンズによって形成した該アライメントマーク像を光電変換する画像検出素子を有していること。

請求項（抜粋）：

第1物体上のパターンを投影光学系で第2物体上に投影露光する前に該第1物体と第2物体との相対的な位置合わせを行なう位置検出装置において、該位置検出装置は該第2物体面上のアライメントマークを照明する照明系と、該投影光学系を介さないで、第2物体面上のアライメントマークの位置情報を検出する位置検出系とを有し、該位置検出系は該第2物体側から順に正の屈折力の第1レンズ群と、該第1レンズ群からの光束を反射偏向するミラー、そして該ミラーからの光束を導光する第2レンズ群とを含む対物レンズ、該対物レンズを介した光で形成した該アライメントマーク像を光電変換する画像検出素子を有していることを特徴とする位置検出装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G01B 11/00 ,  G03F 9/00

FI (3件)：

H01L 21/30 525 P ,  G01B 11/00 G ,  G03F 9/00 H

Fターム (35件)：

2F065AA03 ,  2F065AA20 ,  2F065BB02 ,  2F065BB27 ,  2F065CC18 ,  2F065CC19 ,  2F065CC20 ,  2F065EE08 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065HH10 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ19 ,  2F065JJ25 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL36 ,  2F065LL37 ,  2F065NN20 ,  2F065PP12 ,  5F046BA04 ,  5F046BA05 ,  5F046CA04 ,  5F046CC01 ,  5F046CC16 ,  5F046EB01 ,  5F046EB03 ,  5F046ED02 ,  5F046FA03 ,  5F046FA11 ,  5F046FB04 ,  5F046FB07 ,  5F046FB10 ,  5F046FB12 ,  5F046FC04