特許
J-GLOBAL ID：200903054171760192
帯電粒子量評価装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
西川 惠清
, 森 厚夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-285361
公開番号（公開出願番号）：特開2008-102038
出願日： 2006年10月19日
公開日（公表日）： 2008年05月01日
要約：
【課題】所望の粒径範囲で帯電粒子の粒子量を評価することができる帯電粒子量評価装置を提供する。【解決手段】帯電粒子量評価装置1は、円柱状の内側導体2aおよび内側導体2aよりも大径の円筒状の外側導体2bを同心に配置した同心円筒状電極2と、両導体2a,2bの間の空間に軸方向に沿って層流を発生させる吸気ファン3と、両導体2a,2b間に電圧を印加する電圧源5と、両導体2a,2b間に流れる電流を測定する電流計4と、同心円筒状電極2の形状および寸法、吸気ファン3の流量、電圧源5の印加電圧および電流値取得部12が取得した電流計4の測定値に基づいて帯電粒子量を評価する粒径算出部15と、入力部16を用いて入力された帯電粒子の流量に応じて吸気ファン3の流量を制御することで臨界移動度を調整する流量制御部13と、電圧源5の印加電圧を制御することで臨界移動度を設定する電圧制御部11とを備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
円柱状の内側導体および内側導体よりも径の大きい円筒状の外側導体を同心に配置して構成された同心円筒状電極と、同心円筒状電極の一端側に設けられ、内側導体と外側導体との間の空間に同心円筒状電極の軸方向に層流を発生させる気流発生手段と、内側導体と外側導体との間に電圧を印加する電圧印加手段と、内側導体と外側導体との間に流れる電流を測定する電流測定手段と、同心円筒状電極の形状および寸法と気流発生手段により発生させる層流の流量と電流測定手段の測定結果とに基づいて帯電粒子量を評価する帯電粒子量評価手段と、計測対象の帯電粒子の臨界移動度を設定する臨界移動度設定手段とを具備したことを特徴とする帯電粒子量評価装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N15/02 D
, G01N27/60 C
