特許

J-GLOBAL ID：200903054171862262

プラズマ源と製造方法

発明者： アジッド ピー.パランジプ
出願人/特許権者： テキサス インスツルメンツ インコーポレイテツド
代理人 (1件)： 浅村 皓 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-087590
公開番号（公開出願番号）：特開平6-096719
出願日： 1993年04月14日
公開日（公表日）： 1994年04月08日
要約：

【要約】【目的】 従来のプラズマ源に付随する欠点と問題点を実質的に除去減少させるプラズマ源と製造方法を提供する。【構成】 無線周波数発生器と関連してチャンバ中でプラズマを発生するプラズマ源12である。プラズマ源12はコイル・スパイラル14、少くとも1個の絶縁体28、少くとも1個のコンデンサ30を含む。コイル・スパイラル14は無線周波数発生器から無線周波数波を伝導し、チャンバ中でプラズマを誘導する。これは少くとも2個のセグメントを含む。各絶縁体28とコンデンサ30はコイル・スパイラル14の2個の隣接するセグメントを互いに結合する。

請求項（抜粋）：

無線周波数波を発生するよう動作する無線周波数発生器と関連してチャンバ中にプラズマを発生するプラズマ源(12)において、無線周波数発生器からの無線周波数波を伝導し、チャンバ中でプラズマを誘導するコイル・スパイラル(14)であって、少くとも2個のセグメントを含む前記コイル・スパイラル(14)と、少くとも1個の絶縁体(28)であって、コイル・スパイラルの隣接するセグメントを結合する前記各絶縁体(28)と、少くとも1個のコンデンサ(30)であって、コイル・スパイラルの隣接するセグメント間に直列に結合された各コンデンサ(30)と、を含む、無線周波数波を発生するよう動作する無線周波数発生器と関連してチャンバ中でプラズマを発生するプラズマ源。

IPC (4件)：

H01J 37/32 ,  H01J 9/02 ,  H01J 37/08 ,  H05H 1/46

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 特開平3-079025
  
• 特開平2-235332
  
• 特表平4-504025
  
• 特開昭62-291022