特許
J-GLOBAL ID:200903054178814352
定流量弁
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
石田 敬 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-173905
公開番号(公開出願番号):特開2001-004045
出願日: 1999年06月21日
公開日(公表日): 2001年01月09日
要約:
【要約】【課題】 純粋な水及び薬液が要求される半導体産業や医薬品産業に使用可能でまた腐食性の高い薬液ラインや発塵を嫌うライン及びスラリーを含む薬液ラインにおいても使用可能な定流量弁を提供する。【解決手段】 本発明の定流量弁は、側面にエア供給口8を有する円筒状本体1と、流入口9を有し本体下部と接合する下部弁箱2と、流出口10を有し本体上部と接合する上部弁箱3と、周縁部の環状突部18を本体1と下部弁箱2によって挟持された第一ダイヤフラム4と、周縁部の環状突部19を本体1と上部弁箱3によって挟持された第二ダイヤフラム5と、第一及び第二ダイヤフラムの中央に設けられた環状接合部16,17に接合され軸方向移動自在のスリーブ6と、上部弁箱3の内部に固定されスリーブ6の移動に伴い開口面積が変化するよう先端部が形成されたプラグ7とからなる。
請求項(抜粋):
側面にエア供給口を有する円筒状の本体と、流入口を有し本体下部と接合する下部弁箱と、流出口を有し本体上部と接合する上部弁箱と、周縁部に設けられた環状突部を本体と下部弁箱によって挟持された第一ダイヤフラムと、周縁部に設けられた環状突部を本体と上部弁箱によって挟持された第二ダイヤフラムと、第一及び第二ダイヤフラムの中央に設けられた環状接合部に接合され軸方向に移動自在となっているスリーブと、上部弁箱の内部に固定され該スリーブの移動にともなってその開口面積が変化するように先端部が形成されたプラグとからなる定流量弁。
IPC (3件):
F16K 7/17
, F16K 7/12
, F16K 17/22
FI (3件):
F16K 7/17 B
, F16K 7/12 B
, F16K 17/22
Fターム (13件):
3H060AA02
, 3H060BB05
, 3H060CC23
, 3H060CC35
, 3H060DA17
, 3H060DB12
, 3H060DB19
, 3H060DD04
, 3H060DE06
, 3H060GG16
, 3H060HH02
, 3H060HH03
, 3H060HH11
引用特許:
出願人引用 (2件)
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特開昭58-028069
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定流量弁
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-122611
出願人:株式会社クボタ
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