特許

J-GLOBAL ID：200903054179578180

ランプ加熱型熱処理装置

発明者： 大加瀬 亘 ,  青木 一二
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 金坂 憲幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-317150
公開番号（公開出願番号）：特開平10-144619
出願日： 1996年11月13日
公開日（公表日）： 1998年05月29日
要約：

【要約】【課題】 ランプ加熱型熱処理装置の加熱ランプの耐久性を向上させる。【解決手段】 処理室10に透過窓19を介して複数の加熱ランプ24を有する加熱部12を設け、この加熱部12により上記処理室10内の被処理体Wを加熱するランプ加熱型熱処理装置において、上記加熱部12における各加熱ランプ24の封止部24bおよびランプ本体24aをそれぞれ所定の温度に冷却するように構成する。

請求項（抜粋）：

処理室に透過窓を介して複数の加熱ランプを有する加熱部を設け、この加熱部により上記処理室内の被処理体を加熱するランプ加熱型熱処理装置において、上記加熱部における各加熱ランプの封止部およびランプ本体をそれぞれ所定の温度に冷却するように構成したことを特徴とするランプ加熱型熱処理装置。

IPC (5件)：

H01L 21/26 ,  C23C 16/46 ,  F27B 5/14 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/31

FI (5件)：

H01L 21/26 J ,  C23C 16/46 ,  F27B 5/14 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/31 E

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 光照射装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-105505   出願人：株式会社オーク製作所

審査官引用 (1件)

• 光照射装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-105505   出願人：株式会社オーク製作所