エッチング液組成物

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：永井隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-192791
公開番号（公開出願番号）：特開2003-013261
出願日： 2001年06月26日
公開日（公表日）： 2003年01月15日
要約：

【要約】【課題】アルミニウム系金属配線のエッチングに使用するウエットエッチング液を提供すること。【解決手段】リン酸、硝酸、有機酸、さらには陽イオン成分を含有する水溶液からなるウエットエッチング液。

請求項（抜粋）：

基板上のアルミニウム膜またはアルミニウム合金膜を、エッチングする際に使用する、リン酸、硝酸、有機酸および陽イオン成分を含有する水溶液からなるエッチング液組成物。

IPC (10件)：

C23F 1/20 , C09K 13/04 101 , C09K 13/06 101 , C23F 1/26 , G02F 1/1343 , H01L 21/28 , H01L 21/306 , H01L 21/3213 , H01L 21/336 , H01L 29/786

FI (10件)：

C23F 1/20 , C09K 13/04 101 , C09K 13/06 101 , C23F 1/26 , G02F 1/1343 , H01L 21/28 E , H01L 21/306 F , H01L 21/88 C , H01L 29/78 627 C , H01L 29/78 617 L

Fターム (52件)：

2H092GA25 , 2H092HA06 , 2H092JA26 , 2H092JB24 , 2H092KA18 , 2H092MA18 , 2H092NA13 , 2H092NA29 , 4K057WA11 , 4K057WB05 , 4K057WB08 , 4K057WC05 , 4K057WE02 , 4K057WE04 , 4K057WE11 , 4K057WN01 , 4M104BB02 , 4M104BB16 , 4M104CC05 , 4M104DD37 , 4M104DD64 , 4M104FF08 , 4M104FF13 , 4M104GG20 , 4M104HH14 , 5F033HH08 , 5F033HH20 , 5F033MM05 , 5F033MM19 , 5F033PP15 , 5F033QQ08 , 5F033QQ10 , 5F033QQ20 , 5F033QQ35 , 5F033VV06 , 5F033VV15 , 5F033XX03 , 5F043AA24 , 5F043AA27 , 5F043BB16 , 5F043GG04 , 5F110AA16 , 5F110BB01 , 5F110CC07 , 5F110DD02 , 5F110EE03 , 5F110EE04 , 5F110EE14 , 5F110EE15 , 5F110EE23 , 5F110EE44 , 5F110QQ05

引用特許：

審査官引用 (1件)

液晶表示装置の製造方法、及び液晶表示装置の配線形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-349787 出願人：株式会社日立製作所

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