特許
J-GLOBAL ID:200903054182019133
放射温度測定装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
柳田 征史
, 佐久間 剛
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-034975
公開番号(公開出願番号):特開2004-245674
出願日: 2003年02月13日
公開日(公表日): 2004年09月02日
要約:
【課題】放射温度測定装置において、放射温度を高い感度で測定する。【解決手段】レーザ光16を発する光源15と、ガラスからなる透明誘電体ブロック11上に、金属薄膜12、PMMAからなる熱光学効果を有するTO膜13、および赤外線吸収膜14がこの順に設けられてなる測定部10と、発散光状態で発せられたレーザ光16を、透明誘電体ブロック11の一面から、透明誘電体ブロック11と金属薄膜12との界面に種々の入射角が得られるように入射させる入射光学系17と、ブロック11と金属薄膜12との界面で全反射した反射光を平行光化するコリメータレンズ18と、該反射光を検出する光検出手段としてのフォトダイオードアレイ19と、フォトダイオードアレイ19の検出結果からTO膜13の屈折率変化量を求め、該屈折率から被測定物14の放射温度を求める信号処理部20とから構成する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
光源と、
薄膜層、および被測定物に対向する熱光学効果を有する膜をこの順に、該熱光学効果を有する膜の屈折率より高い屈折率を有する前記光源からの光を透過する誘電体ブロック上に備えてなる測定部と、
前記光源からの光を、前記誘電体ブロックと前記薄膜層との界面で全反射条件が得られるように、前記誘電体ブロック側から前記界面に入射させる入射光学系と、
前記誘電体ブロックと薄膜層との界面で全反射した光の強度を検出する光検出手段と、
該光検出手段によって得られた前記全反射した光の強度変化に基づく全反射減衰の状態により、前記被測定物からの放射温度を求める信号処理部とからなることを特徴とする放射温度測定装置。
IPC (3件):
G01J5/58
, G01N21/27
, G01N21/41
FI (3件):
G01J5/58
, G01N21/27 C
, G01N21/41 Z
Fターム (30件):
2G059AA02
, 2G059AA03
, 2G059AA10
, 2G059EE02
, 2G059GG01
, 2G059GG04
, 2G059GG10
, 2G059HH01
, 2G059HH02
, 2G059JJ05
, 2G059JJ11
, 2G059JJ12
, 2G059JJ24
, 2G059KK04
, 2G059MM01
, 2G059MM10
, 2G059NN02
, 2G066AA01
, 2G066AA04
, 2G066AC20
, 2G066BA08
, 2G066BA09
, 2G066BA12
, 2G066BA13
, 2G066BA14
, 2G066BA22
, 2G066BA24
, 2G066BA28
, 2G066BA34
, 2G066BB11
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