特許

J-GLOBAL ID：200903054184984880

ペリクル接着方法、ペリクル及びマスク

発明者： 松山 隆義
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-033655
公開番号（公開出願番号）：特開平5-232689
出願日： 1992年02月20日
公開日（公表日）： 1993年09月10日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、ペリクル接着方法、ペリクル及びマスクに関し、ペリクルやマスクに汚染やダメージを与えることなくペリクルをマスクから容易に剥がすことができ、半導体デバイスの歩留まりを良くすることができるペリクルを提供することを目的とする。【構成】 ペリクル膜1が貼り付けられている側とは反対側のペリクルの枠部材2上に溶剤で溶解される接着部材3を塗布した後、少なくともマスクパターンが形成されている側のマスク表面がペリクルによって覆われるように該枠部材2の該接着部材3によりマスクとペリクルを接着するように構成する。

請求項（抜粋）：

ペリクル膜(1)が貼り付けられている側とは反対側のペリクルの枠部材(2)上に溶剤で溶解される接着部材(3)を塗布した後、少なくともマスクパターンが形式されている側のマスク表面がペリクルによって覆われるように該枠部材(2)の該接着部材(3)によりマスクとペリクルを接着することを特徴とするペリクル接着方法。