特許
J-GLOBAL ID:200903054191622373
指向性かつ冷却されたガス噴流を発生させるためのガス入口
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
矢野 敏雄 (外4名)
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-608407
公開番号(公開出願番号):特表2002-540438
出願日: 2000年02月23日
公開日(公表日): 2002年11月26日
要約:
【要約】本発明は指向性の冷却されたガス噴流を、イオン源又はUV/蛍光測定セル中で発生させるためのガス入口に関する。本発明の課題は、ガス入口を、簡単な構成において連続的なガス噴流の効率的な冷却を比較的僅かな送入体積流で可能にするように変更することである。前記課題は、外部から気密化されて真空化されたイオン源又はUV/蛍光測定セルの装置内部に導かれ、その真空中に存在する末端がガスの断熱冷却のためのノズルを有し、その際、ノズル開口の内径がキャピラリー内径の多くとも40%であるキャピラリーによって解決される。
請求項(抜粋):
イオン源又はUV/蛍光測定セル中に指向性の冷却されたガス噴流を発生させるためのガス入口であって、これは外部から気密に真空化されたイオン源又はUV/蛍光測定セルの装置内部に導かれ、かつその真空中に存在する末端がガスの断熱冷却のためのノズル(2)を有するキャピラリー(1)からなり、その際、ノズル開口部の内径がキャピラリー内径の多くとも40%であるガス入口。
IPC (3件):
G01N 27/62
, G01N 21/64
, H01J 49/04
FI (5件):
G01N 27/62 F
, G01N 27/62 G
, G01N 21/64 B
, G01N 21/64 Z
, H01J 49/04
Fターム (19件):
2G043AA01
, 2G043BA14
, 2G043CA01
, 2G043DA05
, 2G043EA01
, 2G043EA18
, 2G043FA03
, 2G043GA07
, 2G043GB02
, 2G043GB05
, 2G043GB07
, 2G043GB16
, 2G043JA04
, 2G043KA03
, 2G043KA05
, 2G043KA09
, 2G043LA03
, 2G043MA03
, 5C038EF03
引用特許:
引用文献:
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