貯蔵安定性の良い感光性樹脂組成物及び感光性ドライフィルムレジスト、並びにその利用

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-127003
公開番号（公開出願番号）：特開2004-333672
出願日： 2003年05月02日
公開日（公表日）： 2004年11月25日
要約：

【課題】貯蔵安定性に優れ、水系現像が可能で、高い接着性を有し、良好なパターンが得られ、さらにアルカリへの溶解性の経時変化の小さい感光性樹脂組成物及び感光性ドライフィルムレジスト、並びにその利用方法を提供する。【解決手段】(A)カルボキシル基及び/又は水酸基を含有する可溶性ポリイミド、(B)(メタ)アクリル系化合物、(C)エポキシ系化合物、及び(D)潜在性硬化剤を含有する感光性樹脂組成物、それから作製される感光性ドライフィルムレジスト、並びにその利用方法を提供する。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A)カルボキシル基及び/又は水酸基を含有する可溶性ポリイミド、(B)(メタ)アクリル系化合物、(C)エポキシ系化合物、及び(D)潜在性硬化剤を含有する感光性樹脂組成物。

IPC (5件)：

G03F7/027 , C08G59/40 , C08G73/10 , G03F7/004 , G03F7/32

FI (6件)：

G03F7/027 514 , C08G59/40 , C08G73/10 , G03F7/004 501 , G03F7/004 512 , G03F7/32

Fターム (107件)：

2H025AA04 , 2H025AA11 , 2H025AA14 , 2H025AB11 , 2H025AB15 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC13 , 2H025BC42 , 2H025BC69 , 2H025BC85 , 2H025BC86 , 2H025CA00 , 2H025CB30 , 2H025CC20 , 2H025FA17 , 2H096AA26 , 2H096BA06 , 2H096EA02 , 2H096GA09 , 2H096GA13 , 4J036AA01 , 4J036AC01 , 4J036AC06 , 4J036AD01 , 4J036AD08 , 4J036AD09 , 4J036AE05 , 4J036AF01 , 4J036AF06 , 4J036AG00 , 4J036AH00 , 4J036AJ08 , 4J036DA01 , 4J036DA10 , 4J036DB15 , 4J036DB17 , 4J036DC01 , 4J036DC02 , 4J036DC19 , 4J036DC31 , 4J036DC35 , 4J036DC36 , 4J036DC40 , 4J036FA08 , 4J036FA14 , 4J036FB14 , 4J036HA01 , 4J036JA09 , 4J043PA01 , 4J043PA04 , 4J043PA08 , 4J043PC065 , 4J043PC066 , 4J043QB15 , 4J043QB26 , 4J043RA05 , 4J043RA06 , 4J043RA34 , 4J043RA35 , 4J043SA06 , 4J043SA62 , 4J043SA71 , 4J043SB02 , 4J043TA03 , 4J043TB01 , 4J043TB02 , 4J043UA022 , 4J043UA081 , 4J043UA082 , 4J043UA121 , 4J043UA122 , 4J043UA131 , 4J043UA132 , 4J043UA141 , 4J043UA142 , 4J043UA151 , 4J043UA152 , 4J043UA262 , 4J043UB011 , 4J043UB012 , 4J043UB021 , 4J043UB022 , 4J043UB061 , 4J043UB062 , 4J043UB121 , 4J043UB122 , 4J043UB151 , 4J043UB152 , 4J043UB301 , 4J043YA05 , 4J043YA06 , 4J043YA08 , 4J043YB08 , 4J043YB11 , 4J043YB19 , 4J043YB29 , 4J043ZA02 , 4J043ZA06 , 4J043ZA12 , 4J043ZA23 , 4J043ZA31 , 4J043ZA46 , 4J043ZB02 , 4J043ZB22 , 4J043ZB50

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