特許
J-GLOBAL ID：200903054203026550
ウエハ剥し装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
早瀬 憲一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-048866
公開番号（公開出願番号）：特開平6-268051
出願日： 1993年03月10日
公開日（公表日）： 1994年09月22日
要約：
【要約】【目的】 ウエハ剥し作業を自動化し、かつ、ウエハ剥し時に発生していたウエハ表面への傷を無くし、加えてウエハの割れを減少させ、省力化、歩留りの向上によりデバイスの低コスト化を実現する。【構成】 上部吸着加熱板11を支持軸14とカップリング15によってロボットアーム16に接続し、下部吸着加熱板4と上部吸着加熱板11とでワーク20を吸着保持し、加熱して接着材を軟化させた後、ロボットアーム16により上部吸着加熱板11を回転,あるいは回動(揺動)させ、ウエハ1と補強板2の接着材層を分離しやすくしながら、ロボットアーム16を上方に移動させて剥離を行なうようにした。
請求項（抜粋）：
下面を吸着面とし、該吸着面に真空吸着口を有し熱軟化性接着剤により貼り合わされた被剥離物のウエハと補強板とからなるワークの一方の面を吸着する上部吸着手段と、上面を吸着面とし、該吸着面に真空吸着口を有し、上記ワークの他方の面を吸着する下部吸着手段と、上記上部吸着手段と上記下部吸着手段との少なくともいずれか一方に設けられ、上記熱軟化性接着剤を軟化させる加熱手段と、上記上部吸着手段と、該上部吸着手段を上下動させるためのロボットアームとを回動自在に接続する連結手段とを備えたことを特徴とするウエハ剥し装置。
IPC (2件)：
H01L 21/68
, H01L 21/304 321
