特許

J-GLOBAL ID：200903054209719647

電気接続検査装置

発明者： ジョン・エー・アダムス
出願人/特許権者： ヒューレット・パッカード・カンパニー
代理人 (1件)： 萩野 平 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-241418
公開番号（公開出願番号）：特開平10-104174
出願日： 1997年09月05日
公開日（公表日）： 1998年04月24日
要約：

【要約】【課題】 電気接続検査のための、より高速でより高解像度のラミノグラフィック断面イメージ形成を実現し、より低コストでより単純な改良された装置を提供する。【解決手段】 線形X線検出器40、50、60、70とX線源10、20とを用いて、高速でより高解像度のラミノグラフィク断面イメージを提供する、反り補償ラミノグラフィクシステムを持った電気接続検査装置である。異なった角度から検知された各X線イメージが、各前記線形X線検出器によって生成される。各前記X線イメージは、テスト物体140のZ軸反り補償パラメータを生成するために制御コンピュータおよびイメージ解析システム100によって解析される。各前記X線イメージは、前記テスト物体の異なった面の前記ラミノグラフィック断面イメージを生成し、前記反り補償パラメータを使用して前記制御コンピュータおよびイメージ解析システムによって合成されるか、前記テスト物体についての有効なデータを得るために前記方法で解析される。

請求項（抜粋）：

複数の位置からX線(130、132、134、136)を放出して、電気接続(1214)に通すX線源(10、20)と、前記電気接続(1214)を透過した前記X線源(10、20)によって生じた前記X線(130、132、134、136)を受けるように配置され、さらに、前記電気接続(1214)の透過後に、受けとめ、検出した、前記X線(130、132、134、136)によって得られる前記電気接続(1214)のX線イメージ(160、260、360、460)に対応するデータ信号を放出する出力を備えているX線検出器システム(40、50、60、70)と、前記データ信号を記憶することによって、前記電気接続(1214)の切断面(152、154、156)の断面イメージ(500)を形成するのに十分な情報を納めたイメージデータベースを形成するイメージメモリと、前記電気接続(1214)の第1のZ軸レベルに位置する特定の所定の特徴(146x、1280)を求めて前記イメージデータベースを探索し、前記電気接続(1214)の第2のZ軸レベルにおける前記電気接続(1214)の切断面(152、154、156)の断面イメージ(500)を形成するのに十分な情報を納めた特定のZレベルのイメージデータベースを形成するために前記第1のZ軸レベルに関して前記データ信号を組み合わせるイメージプロセッサとから成る解析システム(100)とが含まれていることを特徴とする電気接続検査装置。

IPC (2件)：

G01N 23/04 ,  H05K 3/34 512

FI (2件)：

G01N 23/04 ,  H05K 3/34 512 A