特許
J-GLOBAL ID：200903054214788460
超音波振動測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
本庄 武男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-161440
公開番号（公開出願番号）：特開平7-020094
出願日： 1993年06月30日
公開日（公表日）： 1995年01月24日
要約：
【要約】【目的】 本発明は,超音波振動測定装置に係り,当該測定装置に対して試料が位置ずれ等を生じた場合でも,比較的安定して超音波振動を測定し得るようにすることを目的とする。【構成】 パルスレーザ1から励起光が照射され,測定用レーザ3から測定光が照射される。ここで材料2が上下方向へ位置ずれした場合には,その位置ずれ量がPSD18で検出され,材料2の表面2aからの散乱光31が所定の平行光となるようにビーム径変換レンズ7がその光軸方向へ移動調整される。また,散乱光31の散乱点がレンズ4の光軸に対してずれた場合には,その位置ずれ量がPSD21で検出され,干渉計13に入射する角度が所定の角度となるように,ミラー8,9が適宜揺動調整される。これにより,材料2からの反射光は好適にファブリーペロー干渉計13に入射される。尚,当該測定装置においては,励起光と測定光とを同一の光軸を通して試料の同一表面側へ照射し得るようにすることによっても,位置ずれによる不都合の発生を抑制することができる。
請求項（抜粋）：
励起光の照射により超音波振動を誘起させた試料に第1の光学系を通して測定光を照射し,該測定光の試料表面からの反射光を第2の光学系を通して干渉計に入射させて検出し,その検出データに基づいて上記試料の超音波振動を測定する超音波振動測定装置において,上記第1の光学系に,上記励起光と上記測定光を同一の光軸を通して上記試料表面に照射させる光学素子群を設けたことを特徴とする超音波振動測定装置。
引用特許：
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