特許

J-GLOBAL ID：200903054218647160

放射線感受性レジスト組成物及びその使用

発明者： ロバート・デイビツド・アレン ,  ウイラード・アール・コンレー・ジユニア ,  ウイリアム・デイーナン・ヒンズバーグ・ザサード ,  パメラ・イー・ジヨーンズ ,  ケビン・エム・ウエルシユ
出願人/特許権者： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
代理人 (1件)： 合田 潔 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-260837
公開番号（公開出願番号）：特開平6-266106
出願日： 1993年10月19日
公開日（公表日）： 1994年09月22日
要約：

【要約】【目的】 放射線感受性レジスト組成物及び集積回路の製造におけるその使用方法の提供。【構成】 この組成物は、放射線感受性酸発生剤、水性塩基中に可溶性のバインダー及び酸不安定性の懸垂基を有するアクリレートコポリマーを含む。

請求項（抜粋）：

放射線感受性酸発生剤、水性塩基中に可溶性のバインダー、並びに(1)アクリル酸、メタクリル酸またはこれらの混合物、(2)アルキルメタクリレート、アルキルアクリレートまたはこれらの混合物、及び(3)酸不安定性の懸垂基を有するモノマーの反応生成物を含むコポリマーからなるレジスト組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/039 ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/30 ,  H05K 3/00

引用特許：

審査官引用 (7件)

• 特開平2-096757
  
• 特開平3-289658
  
• 特開昭58-122533
  
• 特開平2-018564
  
• 特開昭58-122533
  
• 特開平2-018564
  
• 特開昭59-045439