特許
J-GLOBAL ID：200903054222031352
集積型SPMセンサー
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-023059
公開番号（公開出願番号）：特開平8-220116
出願日： 1995年02月10日
公開日（公表日）： 1996年08月30日
要約：
【要約】【目的】カンチレバー部のねじれ変位とそり変位とを極めて高精度に検出することが可能な集積型SPMセンサーを提供する。【構成】カンチレバー部25は、中央ビーム部25aと、中央ビーム部の両側に沿って延出した一対のサイドビーム部25b,25cと、カンチレバー部の全域に亘って形成された導電性のピエゾ抵抗層27と、ピエゾ抵抗層に流れる電流信号が中央ビーム部及び一対のサイドビーム部毎に夫々独立して検出されるように、中央ビーム部の固定端側のコンタクト部31aを介してピエゾ抵抗層に電気的に接続した第1の電極29aと、一対のサイドビーム部の固定端側のコンタクト部31b,31cを介して夫々ピエゾ抵抗層に電気的に接続した第2及び第3の電極29b,29cと、中央ビーム部に延出配置され、自由端側のコンタクト部31dを介してピエゾ抵抗層に電気的に接続した第4の電極29dとを備える。
請求項（抜粋）：
自由端と固定端とを有しており、前記固定端が支持されることによって、前記自由端が変位自在に構成されたカンチレバー部を備えた集積型SPMセンサーであって、前記カンチレバー部には、前記固定端から前記自由端に向かって延出する中央ビーム部と、この中央ビーム部の両側に配され且つ前記中央ビーム部に沿って延出し、前記自由端において前記中央ビーム部と相互に接続した一対のサイドビーム部と、前記カンチレバー部の全域に亘って形成された導電性のピエゾ抵抗層とが設けられていると共に、前記ピエゾ抵抗層に流れる電流信号が前記中央ビーム部及び一対のサイドビーム部毎に夫々独立して検出されるように、前記中央ビーム部の固定端側において前記ピエゾ抵抗層に電気的に接続した第1の電極と、前記一対のサイドビーム部の固定端側において夫々前記ピエゾ抵抗層に電気的に接続した第2及び第3の電極と、前記カンチレバー部の所定部位において前記ピエゾ抵抗層に電気的に接続した第4の電極とが設けられていることを特徴とする集積型SPMセンサー。
IPC (3件)：
G01N 37/00
, G01B 21/30
, H01J 37/28
G01N 37/00 H
, G01B 21/30 Z
, H01J 37/28 Z
