特許

J-GLOBAL ID：200903054223266981

干渉計装置及びその光源装置

発明者： 野▲崎▼ 昭俊
出願人/特許権者： コニカミノルタホールディングス株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-331457
公開番号（公開出願番号）：特開2004-163334
出願日： 2002年11月15日
公開日（公表日）： 2004年06月10日
要約：

【課題】レーザからの発生熱による干渉縞のゆらぎが発生せず、また光源であるレーザの故障や寿命による交換時に複雑な調整を必要とせず、同時に各種波長のレーザをも使用可能とする汎用性のある干渉計装置及びその光源装置を得ること。【解決手段】干渉計本体部のコリメータレンズは色消し光学系とし、光分割手段、及び光重ね合わせ手段は使用波長帯域に対応したコーティング処理を施すと共に、光源装置はレーザと、偏波面保存ファイバコードを有し、光コネクタで干渉計本体部と結合されるようにしたこと。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

光源装置と、該光源装置からの光束を平行光束にするコリメータレンズと、該平行光束を参照光と被検光に分割する光分割手段と、参照面及び被検体に入射した後、該参照面で反射した参照光と該被検体を経た被検光又は該被検体で反射した被検光を重ね合わせる光重ね合わせ手段と、を有する干渉計装置において、 該光源装置は少なくともレーザと、偏波面保存ファイバコードを有し、該レーザから発せられる光束は、偏波面保存ファイバコードを経由して、該コリメータレンズに入射することを特徴とする干渉計装置の光源装置。

IPC (1件)：

G01B9/02

FI (1件)：

G01B9/02

Fターム (17件)：

2F064AA09 ,  2F064BB04 ,  2F064CC10 ,  2F064DD02 ,  2F064DD08 ,  2F064EE02 ,  2F064EE05 ,  2F064FF02 ,  2F064FF10 ,  2F064GG04 ,  2F064GG12 ,  2F064GG22 ,  2F064GG24 ,  2F064GG39 ,  2F064GG44 ,  2F064HH03 ,  2F064HH08